當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>清洗設(shè)備>>等離子清洗>> PCE-6小型-等離子清洗機(jī)
2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3、設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品名稱 | PCE-6小型等離子清洗機(jī) | |
產(chǎn)品型號(hào) | PCE-6 | |
主要參數(shù) | 1、電源:AC220V 50/60Hz | |
2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W | ||
3、真空泵功率:<500W | ||
4、總功率:<600W | ||
5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) | ||
6、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Ø45mm的觀察窗 | ||
7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵 | ||
8、極限真空度:50mtorr | ||
9、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定) | ||
清洗及蝕刻 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:400mm×300mm×300mm | |
重量:10.2kg | ||
可選配件 | 1、2"-6"石英舟(盛放基片) | |
2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) |